Grafitni proizvodi i aplikacije - Izbor grafita za poluvodiče

Aug 13, 2025

Ostavite poruku

Industrija poluvodiča zahtijeva najveću moguću čistoću za svoje grafitne materijale, posebno za grafitne komponente koje dolaze u izravan kontakt s poluvodičkim materijalima, poput kalupa i kalupa. Prekomjerne nečistoće mogu kontaminirati poluvodičke materijale. Stoga se ne samo čistoća sirovog grafita strogo kontrolira, već je također podvrgnuta grafizaciji visoke temperature kako bi se smanjila sadržaj pepela.


Industrija poluvodiča također je potrebna sitnozrnati grafit. Finozrnati grafit nije lakše s preciznošću, već se može pohvaliti i jakom temperaturom i minimalnim trošenjem. Posebno kalupi za sintering zahtijevaju izuzetno visoku preciznost obrade. Budući da grafitne komponente korištene u industriji poluvodiča (uključujući grijače i sinterirajuće kalupe) moraju podnijeti opetovane cikluse grijanja i hlađenja, grafitni materijal mora pokazati izvrsnu dimenzionalnu stabilnost i otpornost na toplinski udar pri visokim temperaturama kako bi maksimizirao svoj životni vijek. Grafit izrađen od nevaljanog naftnog koksa finozrnat je materijal s visokom mehaničkom čvrstoćom. Može se koristiti u elektroničkim proizvodima kao što su lopovi, tanke ploče, diskovi, grijači za vakuum i visokofrekventne peći, toplinski štitnici, grafitne posude za taljenje čistih metala, hvataljke (chucks) za eksperimentalnu opremu s visokim temperaturama, vruće prešanje i filtri. Ovaj materijal može raditi na temperaturama ispod 2500 stupnjeva u inerrtnim ili zaštitnim atmosferama.

 

Ultra-opsežni grafit visoke čvrstoće sa zaštitnim slojem izrađen je od običnog sitnozrnatog grafita koji je pročišćen i degaliran u vakuumu, nakon čega slijedi površinsko zgusnica s pirolitičkim ugljikom. Ovi proizvodi (grijači, diskovi, grafitne posude itd.) Mogu se koristiti za uzgoj silikonskih tankih filmova pomoću metode epitaksijalnog rasta plina. Debljina zgužvanog zaštitnog sloja formiranog pirolitičkim ugljikom nije veća od 2 mm. Tanki sloj pirolitičkog grafita debljine do 0,1 mm može se također taložiti na površini zgužvanog proizvoda.